二手 BRANSON / IPC P2100 #9259552 待售
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BRANSON/IPC P2100是适用于各种基材的最先进的蚀刻和灰化设备。该系统具有精密蚀刻功能和卓越的工艺控制,具有完整的灵活性。IPC P2100是一个高性能的湿蚀和灰化装置,非常适合研发领域和生产环境中的各种应用。它采用低冲击力工艺和自上而下的工艺来实现对基板的最佳蚀刻和灰效应。这台机器与最大尺寸为300 mm的光掩模和石英晶片兼容。该工具采用氧气和臭氧的组合,通过其独特的先进的基于过氧化物的蚀刻工艺。三个阶段的蚀刻过程包括预清洁、蚀刻和后清洁。在预清洁阶段,氧化物层被分解并从基板上除去。在蚀刻阶段,使用O2/O3流蚀刻光掩模或石英晶片。最后,在清洁后阶段,任何残留的残留物都从表面清除。臭氧和氧气的结合可以实现快速蚀刻速率和精确的蚀刻控制。该资产还提供高速灰分,以提高生产率。基材经过O2/O3溷合物,以便快速去除光掩模或细腻的石英晶片。它还提供了广泛的温度范围与操作范围的-05C,以800C净化和优化过程。此外,该模型还能够进行现场压力控制,以承受严酷的蚀刻和灰化过程。设备的用户友好界面确保了直观简单的机器编程。直观的触摸屏显示重要的流程信息,并实现快速、准确的流程编程。此外,BRANSON P2100还提供错误检测和自我诊断功能,以实现机器的最佳运行。总体而言,P2100是一个先进的蚀刻和灰化系统,能够通过结合高速蚀刻、灰化和后清洗操作提供卓越的工艺控制。该装置非常适合从研发领域到生产领域的应用,并为各种基材提供精密蚀刻和纯化。
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