二手 BRANSON / IPC PM 1813 #293740224 待售

BRANSON/IPC PM 1813是一种高度先进和高效的等离子体蚀刻器/asher设备，设计用于半导体制造和材料研究行业的精确和受控的蚀刻和清洗过程。该系统结合了IPC和BRANSON（集成过程控制）的前沿技术和行之有效的可靠性,在等离子体处理应用中提供卓越的性能和灵活性。IPC PM 1813单元具有紧凑而坚固的设计,可轻松集成到现有生产线或研究设施中。其用途广泛的平台支持广泛的工艺化学和底物，使其成为各种应用的理想选择，包括光致抗蚀剂去除、表面清洁、介电蚀刻和材料改性。BRANSON PM 1813机器的关键亮点之一是其先进的等离子体生成和控制能力。该工具利用高频射频（radio frequency）功率在过程腔内产生低压等离子体。然后用等离子体在基板表面选择性地蚀刻或灰分材料，具有高精度和均匀性。PM 1813资产提供了一系列流程参数，可以轻松调整和优化，以满足特定的应用要求。这些参数包括气体流量、压力、射频功率水平、温度和过程持续时间。该模型直观的用户界面和软件控制允许操作员实时监视和微调这些参数，以实现所需的过程结果。除了卓越的工艺控制能力外，BRANSON/IPC PM 1813设备还结合了先进的安全特性和设备保护机制，以确保可靠和安全运行。该系统配有互锁、等离子体监测传感器和紧急关机程序，以防止操作过程中发生事故和设备损坏。此外,IPC PM 1813由于其高效的晶圆处理和过程自动化功能,为高吞吐量和高生产率而设计。机器可以容纳各种基材尺寸和类型，包括晶圆、平板和3D结构，从而在生产环境中实现最大的灵活性和可扩展性。BRANSON PM 1813工具还包括一系列可选的升级和附件，以进一步增强其能力。这些可能包括额外的气体输送系统、端点检测传感器、现场计量工具以及用于高级流程监测和数据分析的软件模块。总体而言,PM 1813 蚀刻器/asher资产结合了精度、可靠性和灵活性,为等离子体处理技术设定了新的标准。无论是用于半导体制造、MEMS（微机电系统）制造，还是材料研究，这种模式都提供了前沿的能力来支持最苛刻的应用，推动行业创新。