二手 BRANSON / IPC S3003c #9056164 待售
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ID: 9056164
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Reactor center: S3003 1813
Controller: 3000C, P/N: 10452-D
Generator: PM 119, P/N: 03100-02, 120V, single phase, 60Hz, 15A.
BRANSON/IPC S3003c是一种通用的等离子体蚀刻和灰化仪器,可提供高质量的结果,同时提供易于使用和可靠且经济高效的性能。IPC S3003c设计有不锈钢多室等离子体蚀刻和灰化室,处理多种基板和等离子体处理。它提供气相和化学等离子体蚀刻和灰化能力。仪器有内置涡轮泵,可用于调节腔内压力,允许精确控制等离子体蚀刻和灰化过程。该仪器采用可编程电源设计,可在各种蚀刻条件下进行精密蚀刻控制。不同的基材类型需要不同的蚀刻条件才能提供最佳效果。BRANSON S3003c提供了广泛的设置来访问各种基材类型的最佳蚀刻时间和压力。该蚀刻器还具有电偏置和微波辅助等离子体(MAP)子系统。这结合了传统和射频等离子体蚀刻的优点,提高了精度和蚀刻质量。电偏置增加电离,减少周围场失真,提高蚀刻精度和精度。虽然MAP子系统将等离子体物种扩展到包括更高分子量的物种和自由基,从而提高了蚀刻均匀性和选择性。S3003c还配备了自动锁载工艺和临时控制室。这两个特性共同作用,为蚀刻过程提供了一个快速装卸基板到蚀刻室和受控环境。负载锁定过程允许在不影响蚀刻质量的情况下分批装载和卸载多个基板,而温度控制室则确保基板和等离子体在整个蚀刻过程中保持恒定温度。最后,BRANSON/IPC S3003c带有图形用户界面(GUI),它提供了一种易于监控和控制蚀刻过程的直观方法。GUI还为用户提供了对各种流程参数的访问权限,并允许根据他们的要求调整设置。IPC S3003c等离子体蚀刻和灰化系统是业界领先的仪器,提供质量、可靠性和性能。它非常适合蚀刻和灰化各种基板,为用户提供对蚀刻过程的精确控制,以及自动装卸、临时控制室和图形用户界面等功能。对于那些需要高质量、经济高效的蚀刻和灰化解决方桉的人来说,这是一个理想的选择。
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