二手 BRANSON / IPC SIGMA 80 #77368 待售

BRANSON / IPC SIGMA 80
ID: 77368
晶圆大小: 4"
Plasma etcher, planar, cassette, 4" without pump.
BRANSON/IPC SIGMA 80是一种蚀刻器/asher,用于将金属和金属合金薄膜沉积到电路板基板上。蚀刻器设计为在水平面上工作,一次最多可容纳八种不同的基板。IPC SIGMA 80具有精密加热压板,提供均匀的蚀刻温度,温度范围为70-150°C,最高温度为240 °C。BRANSON SIGMA 80有两个独立的蚀刻/应用头,每个头都有两个喷嘴,可以沉积多种金属和金属,包括金、银、铜、铝和氧化铝。每个头也可以单独工作,允许独立蚀刻或复杂的多层沉积。操作员可以选择接触蚀刻(将喷嘴压入基板以进行均匀沉积),也可以选择自由蚀刻(将喷嘴与基板表面保持一定距离,从而使所施加的金属量更易变)。SIGMA 80包括多项保护操作员的安全功能,如屏蔽气体、排气和安全联锁。蚀刻器还有自动过滤系统,从蚀刻环境中清除灰尘和碎屑颗粒,喷嘴设计为在发生堵塞或破损时更换。BRANSON/IPC SIGMA 80附带了一个完全预配置的软件接口,允许对蚀刻参数进行快速轻松的编程。除了其蚀刻能力外,IPC SIGMA 80还起到了消火器的作用,允许从底物中去除光致抗蚀剂、烧结剂等不想要的有机残留物。Asher配备了加热的介电浴,允许从基板表面均匀去除光刻胶和烧结剂。BRANSON SIGMA 80还包括一个石英蚀刻室,可用于对基板表面的锋利边缘进行去钻孔和去平滑处理。总体而言,SIGMA 80是一种先进的蚀刻器/asher,设计用于在各种环境中可靠地沉积和蚀刻基板。其全自动功能、安全功能和全面的软件界面使其成为需要可靠、高质量蚀刻和灰化功能的用户的理想选择。
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