二手 BRANSON L3100/3 #9124208 待售

BRANSON L3100/3是一种蚀刻器/asher,用于印刷电路板、半导体晶圆和其他类似表面的精确高性能蚀刻和/或灰化。此设备具有多种特性和功能,例如可调节的蚀刻深度、可调节的灯丝温度、140 μ m的光斑大小、最多20分钟的蚀刻持续时间以及每小时10个晶片的最大吞吐量。此外，它还能够同时处理多达10种底物。蚀刻器/asher专为微电子应用而设计，可集成到洁净室环境中。BRANSON L3100/3非常适合芯片级工艺应用,因为它具有高精度、高速度和可重复性的蚀刻和灰化功能。由电力驱动，由32英寸宽的机动车厢操作。蚀刻器/asher具有平坦、无孔的表面，有助于降低电磁辐射对基板的影响。它还提供了对四个电极的方便访问，允许用户将蚀刻和/或灰化参数调整到它们所需的值。为确保高蚀刻速率,它在-2.1至3.3毫巴的压力下运行,并具有用于精确温度调节的集成温度控制器。蚀刻器/asher带有一个用于安装设备的篮子。这个篮子一批最多可容纳10个基材。也可以通过可调夹紧压力调节快速装卸。可调夹紧压力允许一个均匀的蚀刻过程，无论基材尺寸或类型。此外，氮气的使用有助于避免在加工过程中氧化底物。蚀刻器/asher包括一个触摸屏控制面板,用户可以从中访问设备的所有功能。该界面提供了易于操作的蚀刻器/asher,并有一个清晰直观的菜单,用于设置参数和执行蚀刻/ashing过程。可以将结果打印在图表记录上以进行进一步分析。为确保安全蚀刻操作,BRANSON L3100/3 蚀刻器/Asher配有安全切断开关,如果有过载或任何参数设置超出安全操作限制,该开关将关闭设备。此外,无主要维护要求的低维护设计有助于减少设备的停机时间。