二手 BROOKS AUTOMATION 001-8200-89 #293664916 待售

BROOKS AUTOMATION 001-8200-89是一种蚀刻器/asher，一种用于制造高科技微电子产品的设备。它是半导体工业中一个重要的机械部件，因为它对薄膜、硅片和聚合物等图样底物进行蚀刻和/或灰化。8200-89旨在同时满足半导体和封装需求。8200-89比手动蚀刻机有许多明显的优势。它具有一个自动化平台，有许多选项，包括自动基板加载以及大量的外围设备和命令控制系统。此外,8200-89能够在给定的时间范围内处理比手动驱动系统更多的基板。这使得它非常适合大批量批量处理。8200-89是高度可配置的设备。它能够制作各种形状和大小的蚀刻版画，从0.5 μ m到20 μ m不等。蚀刻过程的腐蚀环境包含在封闭系统内并加以控制。该装置还具有温度和压力控制功能，可对基板进行精确和可重复的加工。除了精密蚀刻能力外，8200-89还提供了广泛的与生产控制和监控相关的功能。它具有集成的数据输入和回收机,便于监控和记录保存。此外,该单元还通过在线和离线数据记录器提供流程监控。此数据可以传输到其他系统以进行评估和故障排除。该工具具有安全功能,包括一些保护人员和产品的保护措施。8200-89除了开放通风设计外，还设计满足UL、CSA和NEC的安全规定，以确保保护。为了保持最佳性能，机器还配备了自动清洗系统和警告系统，在发生危险时向人员发出警报。8200-89的设计基于既定的行业原则，如易用性、可靠的性能、易于维护等。集成设计确保资产易于操作,并允许在需要时进行高效的维修和维修。这使得8200-89成为大批量生产和高科技微电子发展的理想选择。