二手 C-SUN I Etcher #9242148 待售
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ID: 9242148
ICP Etcher
Utility & Mainframe gases:
Gas / Flow rate / Gauge pressure
CDA / 160 slm / 100 psig
Pump purge gas:
Gas / Flow rate / Gauge pressure / Purity
PN2 / 160 slm / 70 psig / 5N
PN2 / 160 slm / 70 psig / 5N
GN2 / 160 slm / 100 psig / 5N
Cooling water:
Fluid / Flow rate / Pressure / Resistivity / Temperature
Filtered H2O / 4~8 / 40~70 / 2 M-Ω cm / 18~25°C
Filtered H2O / 15~20 / 40~70 / 2 M-Ω cm / 18~25°C
Filtered H2O / 3~7 / 40~70 / 2 M-Ω cm / 18~25°C
Filtered H2O / 3~7 / 40~70 / 2 M-Ω cm / 18~25°C
Filtered H2O / 20~40 / 40~70 / 2 M-Ω cm / 18~25°C
Exhaust pipes:
Exhaust port / Flow rate / Negative pressure / Connector size / Connection
Process pump / 100 cfm / -1/2" H2O / KF40 / General acid exhaust port
Loadlock pump / 100 cfm / -1/2" H2O / KF40 / Ibid
Gas box / 100 cfm /-1/2" / H2O / 4" / Ibid
Chamber (PM) / 100 cfm /-1/2" / H2O / 4" / Ibid
Process gases:
Gas / Flow rate / Gauge pressure / Purity / Heat tape
BCl3 / 200 sccm / 20-40 psig / 5N / Yes
O2 / 200 sccm / 20 – 40 psig / 5N / No
CHF3 / 20 sccm / 20 – 40 psig / 5N / No
He / 50 sccm / 0.5 – 20 psig / 5N / No
Power supply: 380V, 3-Phase, 5-Wire, 50A, 50/60HZ
Mainframe & Dry pump (P.C.): 380V, 3-Phase, 5-Wire, 50A, 50/60HZ.
C-SUN I Etcher是C-SUN Industries为工业金属制造业设计制造的先进asher/etcher。它提供了一系列的精密磨损、切割和精加工工具来处理各种金属，包括铜、黄铜、铝、钢，甚至更硬的金属。I Etcher已证明其性能和增强的生产成果。它能够在高温高压环境中准确表现。C-SUN I蚀刻器具有强大的功能,能够在任何类型的金属中蚀刻出色的表面效果。头部强大的机械运动能够以自然和一致的方式生成最高数量的细节,使操作员能够以最小的努力获得最佳的结果。此外,该设备还包含可调节的参数,如振动速度、冲击和叶片速度,以便精确控制表面光洁度。该机配备了强大的控制面板，直观地为其操作员提供。它的用户友好界面将猜测排除在生产过程之外,允许操作员通过单击几下即可设置所需的功能的准确细节。控制面板还包含安全功能,例如,如果工艺参数超出设置范围,则自动关闭,从而保护操作员免受潜在伤害。I Etcher由硬化钢制成，可抵抗蚀刻过程中产生的磨损力，确保持久耐用，使用寿命长达10年。机器强大的除尘系统还可以清洁高效的操作，保护操作员和环境。该机配有金刚石和碳化物刀片、金刚石磨头、磨轮用刀片、模板发生器、打磨盘等一系列配件。它也可以很容易的定制，提供各种配件的蚀刻过程（即钻石切割圆盘，钢磨盘）。综上所述,C-SUN I Etcher是为金属加工应用而设计的高级精密蚀刻器。它专为持久耐用而设计,采用用户友好、直观的控制面板,可实现快速准确的生产效果。它能够以最低的工作量和成本提供卓越的表面饰面,并配备一系列配件以实现最大程度的定制。
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