二手 CANON / ANELVA 4100 #9210331 待售

CANON/ANELVA 4100是一种干式射频蚀刻器和asher设备，用于半导体器件的精确蚀刻和灰化。该系统以13.56 MHz的频率运行，可用于进行SiO2剥离、氧化物孔开口、氧化物侧壁和底部蚀刻以及FGA断封等一系列蚀刻和灰化过程。它旨在实现高吞吐量的应用,通常用于半导体器件的制造。CANON 4100的设计紧凑，带有低调的侧面镶板机身，非常适合需要高精度的芯片规模蚀刻应用。它还具有用于装卸零件的完整工作台，并且可以控制多达8个单独的蚀刻区，以提高工艺效率。此外,该设备还配备了四个温度控制级,允许用户在蚀刻或灰化之前将基板预热和冷却到特定温度,而其模块化的工艺控制面板则便于调整和监控工艺参数。ANELVA 4100包含多个过程监控功能,包括用于电流和电压的原位检测机、气流感测和温度监控。这有助于确保所有进程都能准确执行,并确保蚀刻后的设备达到所需的结果。此外,该工具还具有多种安全功能,例如用于防止射频辐射的射频屏蔽室,以及用于检测任何可能射频泄漏的现场射频主管。4100是一种用途广泛、可靠的资产,能够提供可靠、高精度的半导体器件蚀刻和粉刷。其低调的设计和原位过程监控功能确保了精确的控制和监控，而其模块化的过程控制面板和四个温度控制阶段允许用户为其应用定制蚀刻和灰化参数。该模型是制造具有高精度和高效率的半导体器件的理想工具。