二手 CANON / ANELVA DEA-503 #293649682 待售

CANON/ANELVA DEA-503是专门为蚀刻半导体和其他微电子材料而设计的反应性离子蚀刻（RIE）机器。RIE工艺利用化学反应物和电场产生的等离子体从基板表面去除材料，从而产生高精度的结果。佳能DEA-503能够蚀刻有机和无机材料，如硅、石英和陶瓷，以及一系列其他半导体和介电层。该机器的最高温度范围为200-600°C，可容纳200毫米尺寸和15公斤重量的基板。机器包含几个关键部件，从一个等离子体腔室和两个提供必要真空和化学反应物的泵开始。这种反应物可以根据被蚀刻的材料来选择，允许你使用氧气、氯气、氟气和其他元素。电源是一种频率控制的源发生器，它提供了产生等离子体所需的必要的射频功率。腔室内的电极产生一个定向电场，可以根据蚀刻应用进行配置。压力测量传感器还允许操作员监测等离子体室内的压力平衡。ANELVA DEA-503附带的高级软件提供了一个直观的用户界面，允许用户快速修改设置或调整参数。还包括自动停止、自动启动和自动调整等自动化功能,以提高蚀刻过程的效率。此外,用户界面提供了大量诊断数据,这些数据可用于排除蚀刻过程中的任何问题。DEA-503是市场上最可靠、最精确的蚀刻机之一。它旨在为各种材料提供精确度和精确度方面的卓越结果。它具有直观的用户界面和先进的自动化功能，非常适合不同的工业蚀刻应用。