二手 CANON / ANELVA DEM-451 #9055187 待售

CANON/ANELVA DEM-451是一种用于加工微观表面和材料的湿蚀刻和灰化干蚀刻器。它具有两个不同的处理单元,它们非常适合各种应用和材料,如基材制备、设备制造、微接触打印和3D打印。湿蚀刻装置设有泥浆罐和可变压力泵。此单元允许在整个蚀刻区域上有均匀的压力,从而实现更高的精度和准确性。泥浆罐可以装载KOH、TMAH、HF溶液等多种溷合物，以及定制反应物。液体流量和压力都可以调整以达到所需的蚀刻参数。可以使用板载PC自动监控蚀刻速率。佳能DEM-451的灰化干蚀刻单元由一个真空室和几个等离子体源组成。真空为灰化过程提供了干净稳定的环境。等离子体源产生一个按需聚焦且均匀的等离子体，从而获得完美的灰化结果。可自定义ashing工艺参数以匹配要处理的材料。这些参数包括蚀刻速率、时间和所用气体的类型，如氧气、氙气、氦气或CF4。这种先进的蚀刻器设计用于批处理，最多可同时处理19个晶圆。ANELVA DEM-451是一种通用、精密的微观表面和材料蚀刻和灰化工具。它具有可靠而坚固的设计,在苛刻的微处理应用中提供卓越的性能。用户友好的控制系统提供了直观的界面和过程自动化。其强大的功能、灵活性和精确度使其成为基板制备、设备制造、微连接打印和3D打印的理想选择。