二手 CANON / ANELVA DEM-451 #9284054 待售

CANON/ANELVA DEM-451是一种多用途的蚀刻/灰化机,它将精度和精度与高速和效率相结合。它是一种先进的设备，能够提供最高水平的清洁、可重复性和较低的总拥有成本。CANON DEM-451配备了集成控制设备，提供所有工艺参数的完整可追踪性，包括温度、蚀刻时间、电流水平、排气时间等。ANELVA DEM-451利用热控气体（氧化和还原）和蚀刻工具的组合，从基板表面去除一层材料。控制蚀刻气体，在蚀刻速率和晶圆条件之间建立最佳平衡。DEM-451所启用的控制级别是无与伦比的,可确保所请求层的最高生产率、效率和质量。CANON/ANELVA DEM-451具有移动室,提供完整的扫描功能和恒定的蚀刻速率。腔室最多可容纳三个旋转板，允许在不同的基板上同时蚀刻。机器分为五个功能部分；预刻、蚀刻、后蚀刻、产品排气和再循环,提供最大的工艺灵活性。佳能DEM-451具有用户友好的综合信息系统（IIS）。它包括一个自动配方管理单元，允许操作员设置和监控蚀刻过程的参数。集成软件提供了从头到尾所有流程的完整可追踪性。ANELVA的坚固结构和耐用性DEM-451为用户提供所有工作环境中的可靠性和效率。该机器易于拆卸,维护成本最低,非常适合经济高效的操作。总体而言,DEM-451是一台可靠、高效的蚀刻/灰化机。它为用户提供精确和控制，无与伦比的过程灵活性和方便的访问。对于那些优先考虑准确性、可重复性和速度的人来说，CANON/ANELVA DEM-451是理想的选择。