二手 CANON / ANELVA ECR-300E #9380734 待售

CANON/ANELVA ECR-300E是为高性能半导体器件生产而设计的最先进的蚀刻和灰化设备。它是一个紧凑高效的系统，配备了广泛的标准特性和选项，包括先进的等离子体源技术。CANON ECR-300E提供了优化的溅射过程,具有出色的均匀性和可重复性,确保了最佳质量和生产率水平。ANELVA ECR-300E提供高达600 mm的晶片兼容性,并具有独特的五级扁平晶片传输单元,能够通过独立的工艺室运载晶片,而无需人工干预。晶圆传输机设计为提供最大程度的工艺回收，防止晶圆因过度加工而损坏或污染。多过程腔室结构还提供了整个溅射过程中的动态晶片控制，从而实现了离子轰击角和基板偏置的动态优化。此外，ECR-300E还配置了高达200MHz的超高频，以及许多先进的溅射源选项，包括磁控管（DC和RF）和极高密度等离子体（EHD）多目标源。CANON/ANELVA ECR-300E能够同时使用一个或两个源生产单色或多色薄膜，还能处理血浆掺杂应用。该工具进一步包括多个过程控制和监控功能，允许对过程压力、温度和功率等过程参数进行精确控制。CANON ECR-300E具有独特的两级液流冷却设备,可提供最佳工艺温度,可用于低温和低温退火。该模型还提供闭环冷却,以实现更高的精度控制,并提供自动化配方管理设备,方便流程设置。此外,ANELVA ECR-300E还具有高性能的自动气体控制功能,可实现高精度的质量控制。ECR-300E的设计符合业界最高的标准,可在多年的运营中获得最佳的性能和可靠性。该系统还得到全方位的服务和支持，包括备件、维护合同和全面的技术支持。CANON/ANELVA ECR-300E非常适合所有高安全性的蚀刻和灰化工艺,为各种半导体器件制造应用提供了质量和效率。