二手 CANON / ANELVA I-2100 SRE #293666068 待售

CANON/ANELVA I-2100 SRE是为满足工业和研究应用先进表面处理的需要而开发的高精度蚀刻器/asher。该设备具有最先进的功能,能够生产高质量的蚀刻或蚀刻/抛光表面,具有卓越的精度和可重复性。CANON I-2100 SRE包含蚀刻和灰化的高压真空能力、两个独立的气流系统和一个计算机控制的照明设备。它还有一个离子束发生器，以及一个自动控制系统，确保整个工艺区域的气体压力和温度均匀。对工艺室内使用的燃烧气体进行监测，以实现精确的压力控制，并链接一台计算机进行数据记录、处理和过程控制。ANELVA I-2100 SRE具有广泛的蚀刻和灰化材料，包括Si、Al2O3、Cr、Ta、TiC+Si、TiN+Si等。它旨在通过使用预先编程的参数进行蚀刻和粉刷,操作范围广泛,适合各种应用程序要求。此外，I-2100 SRE有一个集成的电弧抑制单元，以帮助保护工艺室免受因溅射而降解。该机器还具有与外部系统（如ICP工具）集成以实现原位蚀刻的能力。CANON/ANELVA I-2100 SRE还具有各种可选功能,如晶体偏转控制、辅助气体入口、排气口和额外的钟形罐。它们旨在帮助提高工艺产量并保持工艺室清洁。最后,CANON I-2100 SRE是一款可靠而坚固的蚀刻器/asher,具有出色的安全特性、低维护设计和易于操作。该设备有手动版本和计算机控制版本,具有多种可选功能。其整体性能往往优于其他蚀刻器/灰烬。