二手 CANON / ANELVA I-2100 #293754407 待售

CANON/ANELVA I-2100是由CANON和ANELVA, Inc.製造的蚀刻/asher模型。CANON I-2100是一种先进的高性能蚀刻器/asher设备。该模型用于Si微加工的生产。它利用等离子发生器、真空室和排气鼓风机蚀刻Si集成电路（IC）表面的电路模式。此外，该系统能够粉刷不希望得到的表面材料，如光致抗蚀剂残留物、有机污染物和其他不希望得到的残留物。ANELVA I-2100利用双等离子体生成单元最大限度地提高溅射和蚀刻能力。在蚀刻过程中，电离等离子体导致Si上的表面图样形成，这个过程有效地去除了目标层，剩下的残留物随后被粉碎或掩埋出表面。该机利用四个外部气源，高温高达715摄氏度，腔室压力高达1,000毫巴，使其能够蚀刻甚至最坚韧的Si基材料。此外,该工具还具有可调节的射频占空比周期以及允许多级流程的附加功能。I-2100的电脑化PC控制中心提供了一种监视蚀刻和灰化性能的方法，并允许用户控制资产参数，以优化蚀刻和灰化性能。CANON/ANELVA I-2100 蚀刻器/asher模型是快速原型设计、特征密度增强和MEMS制造的理想工具。其强大的性能、先进的蚀刻和灰化功能以及可调节的参数使其成为工程师和设计师的最爱。凭借其先进的PC控制中心和多个气源，它可以轻松地与其他系统和过程集成，以实现最高的效率。