二手 CANON / ANELVA I-4100 SVII #9158755 待售

CANON/ANELVA I-4100 SVII是一款为精密等离子体蚀刻、灰化和晶片处理而设计的蚀刻器-asher。这是一种高效率的仪器，已成为半导体晶圆处理在许多应用中的领先选择。该仪器采用模块化设计，具有最大的灵活性，允许四个腔室按顺序连接，而无需广泛地重新连接布线。四个会议厅连接到一个直观的控制设备，从而能够毫不费力地创建和监测自动化流程，确保每个流程的准确性和统一性。该仪器采用完全节省空间的设计，允许有限的空间而不牺牲性能。蚀刻机配备了高频驱动器（HFD）和高压电源单元（HVPS）。HFD在500kHz运行,使仪器能够在一系列晶圆上执行各种等离子体处理应用。该系统还有一个统一处理单元（UPS），允许在一系列晶圆上进行均匀等离子体处理。CANON I-4100 SVII的设计考虑了安全性和维护性,内置了安全探针和反向控制机,可监控蚀刻机的顺序和状态。一系列的配件使这种仪器对环境有一种，有一个特殊的排气工具消除废气和烟雾从工作区域。这种蚀刻器的设计允许精确和可重现的过程，减少零件之间的变化。该仪器具有先进的软件资产，可以为每个进程定制设置、同步和控制。ANELVA I-4100 SVII具有过程自动化和限时的能力，是半导体晶圆加工的理想选择。