二手 CANON / ANELVA I-42230 #9236119 待售

CANON/ANELVA I-42230是用于晶圆制备的金属等离子体离子蚀刻器/Asher工具。它设计用于在各种晶圆基板上原位蚀刻、清洁和剥离铝、铜和金等金属。CANON I-42230具有真空和气体供应、多高度晶圆机械手和高真空金属等离子源（MPS）的单室配置。MPS具有一个阳极和两个电容器驱动的电极环，产生一个用于蚀刻的离子束。阳极由高速钨丝制成，两环电极由铝壳和铜环组成。ANELVA I-42230能够从晶片表面蚀刻金属和金属氧化物，清洁金属表面，以及从晶片中剥离金属。适用于广泛的工艺参数和条件。I-42230配有可变质量流量控制器，可以精确控制蚀刻和清洗过程。CANON/ANELVA I-42230的蚀刻时间大约在一到几分钟之间,具体取决于工艺、晶圆表面积和薄膜厚度。也可用于处理比大约四微米厚的晶片。最大蚀刻速率高达1.0 µm/min，最高工艺温度为500 °C。CANON I-42230具有50至8 x 10-5 Pa的真空范围，它能够产生多达两种工艺气体，即氮气和氧氢气体，或氙气和氧氢气体。其蚀刻功耗为12 kW，灰化工艺功耗为36 kW，工艺压力范围为0.3至30 mbar。为了安全起见，ANELVA I-42230有一个火灾警报系统，该系统带有监测气体流动和工艺状况的传感器。系统连接到中央控制系统,该系统警告任何危险。I-42230还设有紧急停止开关和接地故障隔离断路器。CANON/ANELVA I-42230易于设置和操作。它在性能上也非常可靠，被誉为市场上最具成本效益的等离子体蚀刻/asher工具之一。此蚀刻器/asher工具非常适合晶圆制造、MEMS/MOEMS工艺和集成电路制造。