二手 CANON / ANELVA ILD 1051 #9111593 待售

CANON/ANELVA ILD 1051是一种蚀刻器或asher，设计用于生产印刷电路板和半导体器件。该蚀刻器采用化学辅助离子束蚀刻器，利用双大功率气源系统创建蚀刻图样。气源是由高压氙和氯（或六氟化硫）溷合而成。这些气体的组合使得CANON ILD 1051可以创建所需的精确蚀刻图桉。ANELVA ILD 1051配备了两个单独的等离子体工艺进行蚀刻，使其成为市场上效率最高的蚀刻器之一。该蚀刻器利用了溷合沉积工艺，结合了负离子等离子体工艺和底物材料的物理解吸。这一过程结合了微电路的蚀刻和纳米尺度特征的产生。负离子等离子体过程允许蚀刻发生的速率高于那些可能使用物理解吸单独。ILD 1051利用静电聚焦来保证蚀刻操作的准确性。这款蚀刻器配备了一个控制单元，可以让用户根据基材类型轻松调整电流、电压和脉冲时间进行精确蚀刻速率。CANON/ANELVA ILD 1051有一个真空室，以防止蚀刻过程中的污染。此蚀刻器具有可编程电极配置,允许用户根据需要在不同深度创建不同的蚀刻模式。CANON ILD 1051蚀刻器还具有先进的计算机界面，允许用户自定义操作参数并跟踪蚀刻活动。该蚀刻器允许同时蚀刻多个基板。此外,此蚀刻器还具有交互式图形用户界面,该界面允许用户可视地监视蚀刻进度,并根据需要对蚀刻过程进行更改。ANELVA ILD 1051是生产微电子和半导体器件的理想工具。凭借其高速蚀刻能力，ILD 1051可以处理多种材料，并配备以毫秒精度打造精确的蚀刻图桉。该蚀刻器能够产生多种几何形状，使其非常适合各种微电子应用。