二手 CANON / ANELVA ILD 1060 #9111594 待售

CANON/ANELVA ILD 1060是由CANON Corporation製造的高精度蚀刻/asher。该设备为广泛的晶圆加工应用提供先进的干蚀刻和电离物理溅射。该系统采用高倍率光学单元，精确聚焦离子束，以较低的基板损伤提供更高的加工精度。该机采用精密直线驱动伺服电机的集成四轴运动工具。它提供了一个精确和可重复的蚀刻过程，以实现高精度的精细图样。其直接振动运动补偿（DVMC）提供超精细蚀刻,且响应外部振动的波动最小。CANON ILD 1060能够在硅片上产生超细图桉，因为它能够蚀刻宽度小至2微米、深度达40纳米的特征。该资产可用于多层过程，因为它可以蚀刻不同的材料层，而不会损害层的完整性。该模型采用了使用超薄薄膜蚀刻技术的自动化向上/向下方向工艺,实现了额外的高精度蚀刻,同时还减少了均匀性和工艺晶片损坏。该设备还能够通过一个可调节的局部加热系统进行干式灰化，该系统可以为基板表面提供高达1000W的功率。ANELVA ILD 1060与一系列不同的工艺气体兼容，包括氧气、氙气和氮气。其原位洗涤器颗粒单元减少污染，确保优越的晶圆清洁。机器还包括一个允许远程监控的现场远程接口。总之，ILD 1060是一种功能强大且精确的蚀刻器/asher工具，提供一系列方便的功能。它能够创建高精度的精细图样，加上其全面的端到端远程功能，使其处于干蚀刻和电离物理溅射过程的最前沿。