二手 CANON / ANELVA ILD 4002 #9111382 待售

CANON/ANELVA ILD 4002是一种蚀刻器，又称asher，用于半导体制造。这台机器是一台精密的、多级反应性离子蚀刻器（RIE）和干式蚀刻器，旨在将介电和金属蚀刻元件薄膜沉积在硅片上。具有高分辨率、细粒特性。机器由计算机控制，允许精确控制蚀刻参数。这有助于通过限制蚀刻损伤的扩散、开放孔隙度和底壁轮廓的程度来优化蚀刻结果。也可用于蚀刻侧壁偏置为零的3D结构。CANON ILD 4002能够处理3、5和8英寸晶圆。它的等离子体腔室配有二次电子抑制器（SES）和干扰滤波器，以尽量减少临界表面污染的程度，这会影响蚀刻结构的性能。包括一个自动仪表设备，以确保不断监测过程，并向计算机系统提供反馈。该装置还设有压力控制调节器和石英晶体微天平，用于精确蚀刻。机器独特的设计减少了清洁步骤所需的时间,并允许轻松维护。这台机器得到了进一步的增强，它采用了高灵敏度的热控制散热器，可帮助紧贴晶片。ANELVA ILD 4002也经过特别设计，以确保最大安全。它的安全系统包括氙气雾化器、紧急情况下的安全控制信号以及几个安全传感器。排气过滤器保持颗粒水平远低于阈值限制，以确保安全的工作环境。总体而言，ILD 4002是一种最先进的蚀刻工具。它能够为日益复杂的微制造过程产生紧密的小特性。它具有多种安全和技术特点，使其成为半导体行业最受欢迎的蚀刻系统之一。