二手 CANON / ANELVA ILD 4003M #9111256 待售

CANON/ANELVA ILD 4003M 蚀刻器/asher是一种适用于多种工业微制造应用的高性能干蚀刻设备。它设计用于各种材料的微结构和微加工，包括硅、薄膜等。该系统使用反应性离子蚀刻（RIE）来创建高长宽比的微结构。CANON ILD 4003M具有较长的生命周期、高效可靠的性能和较低的材料消耗。ANELVA ILD 4003M具有较高的真空热蚀刻能力，可以实现比传统系统更低的离子能量。它采用基于磁控管的"冷"源技术，确保有效的离子束沉积在基板表面上。该装置配备了广泛的工艺预处理参数和处理前后步骤的特点，包括氧气清洗、硬面膜沉积、光泽、蚀刻和金属蚀刻。ILD 4003M的集成过程频率控制（IPFC）和等离子体聚焦，旨在增强反应性离子蚀刻和实现更高的精度，从而产生高质量和可重复的器件特性。此外,CANON/ANELVA ILD 4003M具有出色的蚀刻均匀性、较小的特征尺寸和较高的蚀刻速率。它还支持一系列蚀刻气体，其中包括氙气、二氧化碳、氧气和氢气。CANON ILD 4003M提供了广泛的工艺条件，确保了与各种应用的兼容性，包括光刻、3D成型、MEMS和其他微加工工艺。它具有直观的LCD触摸面板界面,便于操作和管理蚀刻过程。此外,ANELVA ILD 4003M具有内置远程监控功能,可帮助确保效率和最大程度地减少停机时间。总体而言，CANON ILD 4003M是在各种应用中实现高质量微结构的理想蚀刻机。该工具的尖端特性和先进技术使其成为工业微加工的可靠而有力的工具。