二手 CANON / ANELVA ILD 4013 #293747123 待售

CANON/ANELVA ILD 4013是为工业用途而设计的精密蚀刻器/asher。该机是一种多功能精密蚀刻器/asher，能够蚀刻多种材料，包括玻璃、陶瓷、聚合物和金属。它是专为高速、高精度、公差紧密的蚀刻和灰化操作而设计的。CANON ILD 4013有一个溅射蚀刻室，其功率可达1000瓦，温度工作范围在140-630°C之间。它设计的腔室长度为180mm，宽度为165mm，以容纳更大的零件。蚀刻室配有三个20GHz静电透镜，在大范围的材料上提供卓越的分辨率和边缘清晰度。它还具有低压干燥机,喷嘴出口温度在20-200 °C之间,可增强蚀刻和表面平面化。ANELVA ILD-4013配有精密沉积系统，可μ 0.3米的分辨率沉积有机和无机材料。它能够沉积厚度最大为0.3mm、薄膜厚度最小为0.1 μ m的材料。其精密沉积系统还允许高达100：1的高长宽比。它采用感应耦合等离子体蚀刻技术，气体流量可达10sccm，实现快速蚀刻。该机还包括许多安全功能，包括压力范围控制、过压安全阀、惰性气体气氛和紧急关闭开关。该机器也是环保的，设计有化学回收系统，以减少蚀刻操作产生的废物。ILD-4013是一种非常高效可靠的精密蚀刻器/asher,适用于各种蚀刻和灰化应用。它旨在使用多种材料,并实现精确的边缘清晰度和高分辨率蚀刻结果。ILD 4013结构坚固,性能可靠,是任何工业应用的理想选择。