二手 CANON / ANELVA ILD 4015 #9143474 待售

CANON/ANELVA ILD 4015是一种蚀刻器/asher，设计用于制造微机械结构如微电子、传感器和其他高精度器件部件。它是一种感应耦合等离子体（ICP）干蚀刻器/灰化器，带有电子束源，在高真空环境中使用的是氙气和CF4气体蚀刻样品表面。CANON ILD 4015是一款用途广泛的小型设备，适合广泛的蚀刻和灰化应用。ANELVA ILD 4015由四个主要组件组成：样品室、抽水设备、电子束源和电源。样品室由具有静电和永磁的铝和气体输送系统组成，可精确控制蚀刻气体的分布。抽水机既装有涡轮分子泵，又装有机械助推泵，实现等离子体过程控制的高真空环境。电子束源产生高强度电子束，用于生成等离子体。最后，电源负责控制电子束能量和维护等离子体。ILD 4015能够蚀刻和灰化高达20微米的特征尺寸，可以蚀刻金属、硅、二氧化硅等材料。其高真空环境消除了湿表面钝化步骤的需要，其电子束源允许无污染和损坏的低温处理。此外，其气体输送机控制和表面蚀刻均匀性控制特点使其适合广泛的工艺需求。CANON/ANELVA ILD 4015也非常适合多种表征技术，如二次离子质谱（SIMS）和原子力显微镜（AFM）。其高真空环境和温度控制使得敏感元件能够进行高精度蚀刻和灰化，而电子束源可用于对样品进行阴离子束溅射蚀刻和氧化。另外，CANON ILD 4015是为无串扰实验而设计的，这是表征所必需的。总体而言,ANELVA ILD 4015是一种有效的蚀刻器/asher,专为各种蚀刻和灰化应用而设计。其高真空环境、电子束源、气体输送工具控制为用户提供精确的过程控制。它也非常适合多种表征技术，使其成为制造高精度器件元件的绝佳工具。