二手 CANON / ANELVA ILD 4015 #9226110 待售

CANON / ANELVA ILD 4015
ID: 9226110
晶圆大小: 6"
Oxide etcher, 6".
CANON/ANELVA ILD 4015是一款用途广泛的蚀刻器和asher,设计用于满足现代生产设施的需求。它生产用于各种工业过程的高质量蚀刻工具。设备利用其庞大的工作平台、先进的散热系统和直观的图形界面。CANON ILD 4015是一款高精度的蚀刻器/asher。它拥有400 x 250 mm的工作平台和400 x 250或300 x 300 mm的最大场大小。本机可容纳平方、平圆、小平、长圆形状等多种工件,最大厚度8毫米。工作台是电动的,可以用X轴、Y轴和Z轴驱动。该机组加速减速速度快45米/分钟,移动速度高达0.6米/分钟。ANELVA ILD 4015可以蚀刻,最大速率高达20 µm/min。它还提供了各种蚀刻参数,如脉冲宽度、波长、重复频率和脉冲持续时间,以根据客户的需要定制蚀刻过程。此外,它有一个内置的激光安全机器,可以保护人员免受意外暴露。ILD 4015配备了一个用于灰化工件的热工具。它还具有温度传感器,可以精确控制灰度速率。其温度范围高达800 °C,并配有基于PC的集成控制器,用于精确的过程控制。CANON/ANELVA ILD 4015还有一个直观的图形用户界面(GUI),使它易于操作。该资产有几个警告灯来指示机器的当前状态,并允许根据客户的需要轻松定制设置。该型号可连接到互联网进行远程监控和维护。CANON ILD 4015是一款功能强大、用途广泛的现代工业生产蚀刻器/asher。它有一个加速减速速度快的大型工作平台,可以蚀刻,最大速率为20 µm/min。本机亦有温度感应器以精确控制灰度速率,并设有直观的图形使用者介面。设备可连接到互联网进行远程监控和维护。使用ANELVA ILD 4015,生产设施可以轻松承担创建高质量工具的责任。
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