二手 CANON / ANELVA ILD 4015 #9257789 待售

CANON/ANELVA ILD 4015是为工业和研究用途而设计的高精度蚀刻器/asher。这台机器能够在基材上创建高度精确和复杂的图样。它是一种双组分蚀刻器/asher,这意味着它能够使用蚀刻或灰化作为主要处理方法。CANON ILD 4015利用一个感应耦合等离子体（ICP）腔创造了一个高温环境，用来蚀刻或粉刷基材。腔室具有集成的电子回旋共振（ECR）磁控管，进一步提高了腔内等离子体的温度和密度，以确保精确的蚀刻结果。ANELVA ILD 4015的蚀刻和灰化时间可以调整，以满足每个应用程序的具体需求，因为该过程是高度可调的。最大加工面积为150毫米x 150毫米，适合一系列形状和尺寸各异的基板。集成真空系统允许ILD 4015在蚀刻和灰化过程中保持高度一致的压力。这样可以确保在基材上的蚀刻分布更加均匀，从而产生质量更好的最终产品。该机器能够在一定温度范围内运行,从室温到高达900 °C,使其能够用于各种过程,包括晶圆掺杂、3D结构和表面修改。CANON/ANELVA ILD 4015还提供了一系列其他功能，包括加速器控制、受控气体引入和自动气体关闭。这些功能有助于进一步提高蚀刻和灰化过程的准确性,从而对最终结果进行更精确的控制。CANON ILD 4015是为工业和研究用途而设计的高精度、可调的蚀刻器/asher。其集成的ICP腔室、ECR磁控管和精密真空系统使其能够以高精度和高效率的方式蚀刻和灰分基板材料。可调温度范围、加速器控制系统、控制气体引入和自动关闭功能进一步增强了机器的性能,使其非常适合各种应用。