二手 CANON / ANELVA ILD 4015 #9390493 待售

CANON/ANELVA ILD 4015是一种蚀刻器/Asher，或Vapor Etch Asher，其中在研发、生产运行前或实验室测试前对标本进行蒸气蚀刻或蚀刻等离子蚀刻。这种装置使用金属有机气体，从室外吸入，然后加热产生等离子体。产生的等离子体用于蚀刻或粉碎设备内部的样品。CANON ILD 4015是多种材料蚀刻和灰化的强大工具，包括金属、聚合物和半导体。ANELVA ILD 4015利用先进的浮动电极技术（FET）ashing原理，加热金属有机气体，制造出一种用于蚀刻和ashing的等离子体。浮动电极位于与要蚀刻的材料不同的距离，使等离子体在过程中分布均匀。FET系统在蚀刻时间和灰度时间上也提供了无与伦比的均匀性。利用这项技术，可以实现局部区域或选择性蚀刻。ILD 4015配备了静电卡盘，使晶片在灰化之前能够精确放置。它可以处理尺寸可达200毫米x 300毫米的长方形标本，每批最多可处理五个单位。另外，CANON/ANELVA ILD 4015配备了强大的真空泵，提供3倍10-6Pa的基本真空。CANON ILD 4015是一款数位蚀刻机。它配备了板载微处理器和用户友好的触摸屏界面。数字显示显示了蚀刻或灰化过程中的压力、温度和时间,从而可以精确控制工艺条件和室内气氛。总之，ANELVA ILD 4015是一款高性能的蚀刻器/asher，配备了先进的技术和直观的用户友好控制。它能够对各种材料进行有效的蚀刻和灰化,同时提供对过程的精确控制。ILD 4015的多功能性和性能使其成为任何研究或生产实验室的有用工具。