二手 CANON ANELVA ILD 4032 #293747124 待售

CANON ANELVA ILD-4032是一种用于工业应用的蚀刻器和灰化器。它使用感应等离子体发生器，是一个电感、耦合板和一个蚀刻和灰化的靶板的组合。ILD-4032配有直流电源和连续真空设备，以保持均匀的气压。CANON ANELVA ILD-4032利用高频等离子体发生器，能够产生最大的35kW输出。这使得它可以产生高达5.0 mTorr的等离子体密度，具有稳定的温度分布。由于其高效的蚀刻和灰化能力，ILD-4032能够产生非常低的表面粗糙度值。CANON ANELVA ILD-4032利用了广泛的加工气体，包括空气、氮、六氟化硫（SF6）、六氟化砷（AsF6）和各种稀有气体。ILD-4032还有一个集成的直接数字温度控制系统，以便在蚀刻和灰化过程中精确控制温度。此外，CANON ANELVA ILD-4032还配备了安全联锁装置，可保护操作员免受潜在危害。ILD-4032可以同时使用批量和连续蚀刻和灰泥。批处理单元中的过程涉及用过程气体为内室充电，然后将目标板装入腔内进行蚀刻和灰化过程。在连续机中，向腔室提供连续的过程气体进料，目标板间歇性地安装。CANON ANELVA ILD-4032还具有集成的计算机控制工具,它允许操作员通过图形用户界面执行设置、监视和控制操作。资产还提供详细的流程报告和统计信息，以帮助运营商优化其蚀刻和灰化操作。ILD-4032是市场上功能最强大、最可靠的蚀刻和粉刷系统之一，广泛应用于半导体、微电子和生物医学行业。它具有广泛的功能,是实现高质量、经济高效的蚀刻和灰化结果的理想工具。