二手 CANON / ANELVA ILD 4032 #9043724 待售

CANON / ANELVA ILD 4032
ID: 9043724
晶圆大小: 6"
优质的: 1991
Etcher, 6" 1991 vintage.
CANON/ANELVA ILD 4032是一款蚀刻器/asher,设计用于提供高精度的细金属图样蚀刻,以及介电树脂和其他厚厚的有机和无机膜。这类蚀刻器广泛应用于多个行业,如:半导体制造、光刻、3D打印、电路板生产和液晶显示器制造。CANON ILD 4032具有感应耦合等离子体蚀刻技术,提供能以高达3mm/min的速率蚀刻的高密度离子束。该单元配备了多种压力、温度和气体输送控制,允许精确的蚀刻过程控制。这些系统还具有一系列外部电极,这些外部电极通过射频发生器供电,从而产生用于蚀刻过程的低压等离子体放电。ANELVA ILD 4032能够处理最大12英寸大小的晶片,并配有用于精确蚀刻对准和暴露于等离子体的4轴运动控制设备。该设备还提供高达0.001微米的惊人分辨率,以及27.6英寸x 17.7英寸x 20.6英寸的腔室尺寸。该单元具有多项可添加到系统中的可选功能,包括遥控单元、真空机以及其他各种腔室处理。它还包括门锁工具等先进的安全功能,以及各种电气和空气安全系统。这是为了在蚀刻过程中保护操作员以及可能涉及的任何液体。ILD 4032是一种令人印象深刻的蚀刻资产,能够精确蚀刻金属、树脂和其他厚厚的有机和无机膜。它非常适合那些正在寻找具有高级安全功能的高精度模型以及各种可调节的参数以优化蚀刻的人。
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