二手 CANON / ANELVA ILD 4032 #9390492 待售

CANON/ANELVA ILD 4032是干式蚀刻器的一种，又称Asher。这台机器用来蚀刻图样或形状到基板上.它的工作原理是使用通常用于复杂制造或蚀刻应用的减法工艺，从而提供优于传统机械钻孔或铣削的分辨率。CANON ILD 4032由高压射频源供电，利用闭环过程控制系统进行精确蚀刻控制。ANELVA ILD 4032设计紧凑,重量轻巧,适用于实验室和生产环境。它有一个内置的负载锁定室和一个耐化学的固态目标架，既可以自动加载也可以手动操作。此外，ILD 4032为用户提供了使用不同基板的灵活性，如玻璃、硅、GaAs、聚酰亚胺和其他聚合物。CANON/ANELVA ILD 4032使用感应耦合等离子体（ICP）蚀刻工艺。这一过程包括将射频信号施加到位于工作区域上方的线圈上，然后在用于蚀刻的气体中创建感应场。感应耦合等离子体可以更好地控制蚀刻过程，因此提供了更高质量的蚀刻特征。在性能方面，CANON ILD 4032能够实现低至0.3 µm的分辨率，适合精密蚀刻应用。它还具有较大的蚀刻面积,覆盖面积可达6.25 cm2 （3.1英寸）,因此非常适合生产级别的蚀刻。ANELVA ILD 4032可以蚀刻铝、铜等材料需要更高蚀刻速率。除了蚀刻功能外,ILD 4032还配备了安全功能,如低压直流放电预防、电弧检测和O2监视器锁定功能。这些功能有助于保护用户和机器,在蚀刻或其他过程中提供安全操作。综上所述，CANON/ANELVA ILD 4032是精密蚀刻应用的理想选择。它具有紧凑的设计、轻巧的结构，并具有耐化学的目标支架，使其适合实验室和生产环境。CANON ILD 4032使用感应耦合等离子体过程，允许更大的控制，从而产生更高质量的蚀刻特征。它还配备了提供安全操作的安全功能。