二手 CANON / ANELVA ILD 4033 #293749873 待售

CANON/ANELVA ILD 4033是使用感应耦合等离子体（ICP）技术对各种底物进行各向异性蚀刻和灰化的蚀刻/灰化装置。此设备具有手动和自动操作选项,可满足多功能蚀刻和灰化需求。它还具有两个独立的加工室，允许对基板进行双面加工。CANON ILD 4033可用于从半导体到航空航天和汽车工业的各种应用。是对不锈钢、铁和铝等垂直基板进行蚀刻和灰化的热门选择。它也广泛应用于微加工工业中，用于半导体晶圆、薄金属等薄材料的材料去除和制图。ANELVA ILD-4033利用高频电源产生等离子弧.等离子弧与反应性气体结合提供蚀刻和灰化作用。等离子弧由高频电源产生，并发送到ILD-4033的上腔。当电弧被释放时，它会撞击室内的反应性气体并引起放电。这种放电产生等离子体，然后在基板上提供蚀刻和灰化作用。ILD 4023具有几个工艺参数,这些参数可以配置为满足各种蚀刻和灰化需求。这些参数包括压力、压力波形、总质量流量、气体溷合物和定时循环。此外,CANON ILD-4033还具有手动和自动工艺设置,可快速轻松地调整工艺参数。CANON/ANELVA ILD-4033还具有广泛的安全功能,确保安全的工作环境。这些功能包括过压保护、弧线保护和自动清洗功能。此外，ILD 4033还具有先进的控制系统，可提供精确、高效的工艺参数操作。ANELVA ILD 4033是一种蚀刻/asher设备,非常适合各种蚀刻和灰化需求,从微加工到航空航天和汽车工业。它具有可配置为适应一系列材料的通用工艺参数,以及手动和自动工艺设置。此外，CANON/ANELVA ILD 4033具有先进的安全功能和控制系统，可确保安全的工作环境和高效的操作。