二手 CANON / ANELVA ILD 4033 #9257787 待售

CANON/ANELVA ILD 4033是利用惰性气体技术的紧凑、强大、反应性离子蚀刻器（RIE）/asher。它是一种单晶片设备，由一个容纳基板的主腔室、一个内部工艺腔室和一个外部腔室组成，用于输送蚀刻过程中使用的惰性气体。该系统设计用于各种材料的蚀刻，包括硅、金属薄膜和其他半导体材料。CANON ILD 4033能够精确地蚀刻具有精确控制和均匀性的材料。该工艺室包含一个精细控制单元，以保持均匀的蚀刻深度和可调的蚀刻室压力，以控制蚀刻时间和温度。该机器还具有很高的蚀刻速率,并且由于不同材料的蚀刻速率不同而对阴影效果具有很高的公差。ANELVA ILD-4033配备板载控制器，允许用户对蚀刻过程进行编程，最多存储99个进程程序，重新启动中断或不完整的进程，并在操作过程中调整设置参数。主室还配有石英窗，让蚀刻过程可视化。ILD 4033利用射频电源和ICP（感应耦合等离子体）产生理想的蚀刻气氛。该工具能够产生具有冷壁电极技术、射频偏置和交流/直流电源能力的ICP等离子体。主室设计为产生高等离子体密度，并在整个过程中保持稳定的条件，允许精确且可重现的蚀刻深度。ILD-4033配备了先进的安全资产。该车型配有防爆门和一系列安全开关，以防止意外接触蚀刻化学品。该工艺室的设计是为了防止产生颗粒和外部损坏设备。此外,环境传感器会不断监视内部环境,以确保操作安全。总之，ANELVA ILD 4033是一种利用惰性气体技术精密、精密地蚀刻材料的强大、反应性离子蚀刻器/灰化器。其先进的安全功能和车载控制器为用户提供了高效可靠的蚀刻工艺。