二手 CANON / ANELVA ILD 4033 #9258941 待售

CANON/ANELVA ILD 4033是一种蚀刻/灰化工具,主要用于生产电子元件和设备。它能够进行湿法和干法蚀刻/灰化工艺，允许在元件生产中广泛应用。CANON ILD 4033具有一个射频等离子体发生器，该发生器产生一个用于均匀蚀刻轮廓的高功率等离子体。这台发电机由双频柜、双频电源和射频等离子体源组成，为ANELVA ILD-4033提供了广泛的等离子体生成能力。该工具还配备了先进的自动电极偏置调节，能够产生不同的蚀刻/灰化效果。这是通过调整电极电压并允许用户定制蚀刻/灰化参数来实现的。该模型旨在在蚀刻/灰化过程中实现精度和速度的最大化。它使用高精度的转子设备来固定基板，产生均匀的气体流动。还包括高压气源，以便提供更高的蚀刻/灰分速率。这台机器允许同时蚀刻/粉刷多种基材，因为它的多级板材蚀刻头。这不仅具有多个板式电极,而且还具有可根据所需的蚀刻/灰分参数调整的精密喷嘴。ILD 4033由于其先进的清洁模块，提供了强大的清洁解决方桉。该清洗模块包括静态干洗罐和射频柔性清洗系统。这些特征协同工作，在每次蚀刻/灰化过程后有效地清除晶圆和压板上的残留物。该设备还提供有效的保护，防止蚀刻损坏，由于其先进的保护单元。这包括用于有效电压控制的交流电源；一个综合联锁机器，以防止因压力水平升高而产生振动；以及一台射频高频发电机，用于提高绝缘故障时的电气安全。总之,ANELVA ILD 4033是一种高度先进的蚀刻/灰化工具,它为电子元件和设备的生产提供了一致、可靠和有效的解决方桉。它的众多功能使其成为一种高效的组件生产工具,它具有一套通用的蚀刻/灰烬功能,一种精确、快速的旋转工具,并包括多种清洁和保护解决方桉。