二手 CANON / ANELVA ILD 4033 #9390491 待售

CANON / ANELVA ILD 4033
ID: 9390491
晶圆大小: 6"
优质的: 1994
Dry etcher, 6" 1994 vintage.
CANON/ANELVA ILD 4033是一种反应性离子蚀刻器,或称Asher,使用电离簇沉积(ICD)技术。它是一种可定制的机器,旨在以可靠和经济的方式提供高长宽比和硬质材料的精确蚀刻。它用于金属、陶瓷、玻璃、半导体以及各种其他电气和工业部件的蚀刻。CANON ILD 4033利用磁屏蔽射频(RF)加工室和介电常数控制的直流通电电源。电子枪通常是各种尺寸的离子源,有选择地在各种材料表面发射高能电子。然后在工艺室中形成电子束,电子束的半径可达8mm。这使沉积、蚀刻和氧化物层的控制最大化。ANELVA ILD-4033常用于多种应用,包括将细腻的结构蚀刻成金属和其他材料。它设计精密蚀刻,产生清洁和精确的蚀刻几乎没有裂纹或碎裂的材料。它可以蚀刻小至80 nm宽的特征,这有利于创建复杂和详细的组件。CANON ILD-4033配备了多种安全功能,以确保使用时的最佳安全性。其中一些功能包括一个安全联锁系统,防止未经授权的人员进入密室,带有警报的超压传感器,以及在紧急情况下迅速关闭系统的紧急按钮。蚀刻器可以配备几个配件,使其对用户更有效、更高效。自动晶片装载机确保了蚀刻过程的流线型和均匀性,而过程控制器可以方便地调整和监控参数。总体而言,CANON/ANELVA ILD-4033是高长宽比和硬质材料精密蚀刻的可靠且经济的解决方桉。凭借其可自定义的功能、安全功能和有用的附件,它为所有技能级别的用户提供了可靠而高效的蚀刻解决方桉。
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