二手 CANON / ANELVA ILD 4100 SVII #293654386 待售

CANON/ANELVA ILD 4100 SVII是一种蚀刻器/asher，使用感应耦合等离子体（ICP）技术来实现对蚀刻/ashing过程的高精度控制。该设备设计用于真空室，允许与其他工艺的潜在兼容性。CANON ILD 4100 SVII能够处理各种材料，具有出色的蚀刻/灰化性能和表面质量。系统的主要功能是ICP电源和相关电源。这些电源产生并控制ICP, ICP用于蚀刻/粉刷目标材料。ICP产生一种非接触式清洁机制，其中由等离子体物质组成的离子撞击到材料表面，导致目标材料分解并去除材料。此过程还会导致蚀刻/粉刷表面的高度均匀性。除了ICP源和电源外，ANELVA ILD 4100 SVII还具有集成气体供应单元，允许精确控制等离子体种类及其与工艺基板的相互作用。该机还具有高真空涡轮泵，可维持低真空状态，以实现最佳蚀刻/灰化性能。ILD 4100 SVII还具有多种ICP流程配置,为各种蚀刻/灰化应用程序提供了更大的灵活性。该工具的特性和参数，如压力、气流和ILD气体浓度，也可以精确调整，并通过图形用户界面（GUI）显示和控制。这使用户能够准确控制蚀刻/ashing过程并保持高质量的结果。CANON/ANELVA ILD 4100 SVII还提供了多种安全和安保功能，例如内置的设备监控资产，为用户提供了真空水平和型号温度等信息。总体而言,CANON ILD 4100 SVII是一款高度先进的蚀刻器/灰化器,具有多种功能,可实现高性能蚀刻/灰化。该设备能够处理各种材料，具有优异的蚀刻/灰化性能和表面质量。该系统还配备了多种ICP工艺配置、集成供气单元和高真空涡轮泵，用于最佳蚀刻性能和对蚀刻/灰化工艺的精确控制。ANELVA ILD 4100 SVII还提供多种安全保障功能，让用户有机会从机器上获得最大的性能。