二手 CANON / ANELVA ILD 4100 #293814342 待售

CANON/ANELVA ILD 4100是一种用于在半导体基板上产生高质量图样和微小特征的蚀刻器/asher。它具有高功率、高压、气相蚀刻设备，有助于实现纳米分辨率蚀刻。该系统使用含化学惰性氯气（CCl2 F2）作为蚀刻剂。CANON ILD 4100 蚀刻器/asher包括先进的蚀刻头设计和强大的操作单元。该机包括一个装有电极的空腔、具有喷嘴能力的磁铁和一个介电窗。这种空腔有两个过程：第一，它被设计成在电极之间产生一个高电位梯度，使电离粒子加速向基板。其次，利用强大的磁场来确保蚀刻气流保持整个基板的中心。该工具还利用高压交流脉冲电源和快速数据处理，快速准确地控制电离沉积过程。高分辨率数字图样是由能够编程的蚀刻参数与0.1纳米的精度启用。蚀刻器/asher还配备了先进的源头保护措施和多重安全功能，以确保资产的安全运行。该型号还可以通过遥控器操作。ANELVA ILD-4100是纳米技术领域一系列应用和工艺的优秀蚀刻器。它非常适合在晶圆、玻璃、陶瓷和其他材料等基材上创建具有纳米分辨率的精密图样。它具有高端设备、易于使用的控件和紧凑的设计，使其节省空间，适合广泛的应用。