二手 CANON / ANELVA ILD 4100SDII #9227369 待售

CANON / ANELVA ILD 4100SDII
ID: 9227369
晶圆大小: 8"
Oxide dry etchers, 8".
CANON/ANELVA ILD 4100SDII是一种现代化的蚀刻器/灰化器,专为工业和实验室应用而设计。适用于多种材料的蚀刻/灰化,包括金属、半导体、玻璃、SiC陶瓷、复合材料、塑料。佳能ILD-4100SDII主要用于表面制备,是一种经济高效的装置,提供高精度蚀刻/灰化,对工件的残余应力最小。其主要特点包括:带有6英寸圆形涡轮石英的Ashing腔室和惰性气体分散设备,采用n型和浅孔设计,提高了性能;一个带有反应腐蚀块、气体扩散均匀性和冷却类型改进的蚀刻室;"强制通风"设计可保护工件不受环境污染物的影响。此外,ANELVA ILD 4100SD II还设有"溅射抑制剂系统"以减少蚀刻/灰化造成的金属损失,"闭门锁控制"以防止错误操作,"手动电源控制"以精确调整蚀刻/灰化条件,以及"宽开装载机单元"以方便装卸作业。ILD 4100SD II易于操作,可适应各种工艺参数。它具有用户友好的控制面板,带有柔和的触控键和数字显示屏,并为不同的应用程序提供了广泛的蚀刻/灰化率,使其能够用于中小型生产。CANON ILD 4100SD II提高了生产能力,提高了蚀刻/灰化速度和可重复性。其耐用的建设和长期的可靠性保证了高投资回报。再者,它配备了可以检测过程中错误的自诊断机。总体而言,ILD-4100SDII是一种高质量的蚀刻/灰化工具,非常适合工业和实验室应用。它的灵活性和精确度使其成为创建光滑、精细蚀刻/灰度曲面的可靠且经济高效的解决方桉。
还没有评论