二手 CANON / ANELVA ILD 4100SR #293637503 待售

CANON/ANELVA ILD 4100SR是一种用途广泛的工业蚀刻器或asher,能够处理大批量的基材或晶片,效果优异。CANON ILD-4100SR非常适合晶片切割、模具连接和IC封装应用,具有直接等离子体源、特殊的干蚀刻/条带技术以及晶片两侧的同时蚀刻。ANELVA ILD-4100 SR利用专有的ILD（电离线路方向）技术来确保卓越的工艺效果。该技术的主要优点是在晶圆的整个表面上进行均匀性蚀刻。这项技术还消除了等离子体与晶圆表面相互作用所产生的等离子体中的杂质。精确、精确的ILD技术蚀刻也有助于产生精确、可重复的结果，而无需人工调整。ILD 4100SR是一种高性能的工业蚀刻器，能够在所有普通半导体中蚀刻和剥离深达7 µm的工艺。该系统能够处理直径达200毫米的基板，使其适用于0.25-3.5mm范围内的晶片。该系统的集成微蚀刻（MIL）和条带功能在所有典型的蚀刻操作（如铜、金和铝）中均提供卓越的性能。CANON/ANELVA ILD-4100 SR提供了大量自动化功能,包括计算机接口和外部过程计时器。这样可以实现快速、可重复和精确的蚀刻结果。该系统还具有自动温度和功率控制功能,可实现精确和可重复的温度控制。ILD-4100 SR符合行业环境安全标准,并已获得欧盟认证以符合欧盟RoHS（危险物质限制）法规。这款蚀刻器还兼容了全方位的配件和化学品，包括真空室、电化学镀层、厚膜光刻、槽蚀刻等。CANON ILD-4100 SR是一个全面的，坚固的工业蚀刻器，能够处理大批量的基材或晶片的精确和最大的安全性。其独特的ILD技术可确保统一的蚀刻结果,其集成的自动化功能可实现快速、精确和可重复的结果。ILD 4100 SR凭借其行业标准认证和广泛的兼容配件和化学品，是大批量工业蚀刻应用的理想选择。