二手 CANON / ANELVA ILD 4100SR #293751263 待售
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CANON/ANELVA ILD 4100SR是一种用于物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）工艺的蚀刻器/灰化器。它是一种烤箱型设备，具有旋转晶片级和一套可调节的电源，用于精密蚀刻和灰分材料。该系统配有用于精确控制工艺压力的四级真空控制装置，以及可用于高真空和超高真空沉积过程的高容量涡轮分子泵。其旋转晶片级允许在晶片两侧同时进行均匀蚀刻。在热管理方面，佳能ILD-4100SR配备了先进的多区加热线圈和温度可独立调节的动力穿梭加热器。这样可以对整个基板进行精确的热控制,确保在整个表面上均匀蚀刻和灰化。此外，该装置还具有气体溷合控制和源气体输入功能，使操作员能够微调等离子体参数。机器的可调电源带有一系列电压，从15V到400V，能够对包括铝、硅、钨等在内的各种材料进行精密蚀刻。多区加热线圈还提供了使用各种功率级别的选项，具体取决于正在蚀刻的材料。ANELVA ILD-4100 SR因其优越的蚀刻和灰化能力、精确的热控制以及可调节的电源，非常适合许多工业环境。可用于薄膜沉积、半导体生产、涂层和纳米颗粒合成等广泛应用。
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