二手 CANON / ANELVA ILD 4100SR #293758800 待售

CANON/ANELVA ILD 4100SR是一种用于半导体制造的高性能离子蚀刻器/asher。它能够以很高的分辨率和选择性进行蚀刻。CANON ILD-4100SR具有广泛的工艺,能够蚀刻高达8英寸的晶圆,均匀度为+/-10%,而可重复性在+/-1%以内。该工具非常适合高精度的应用,在时间和材料厚度方面都需要高度的可重复性。ANELVA ILD-4100 SR利用离子束技术，对材料进行蚀刻，几乎没有材料损失。该过程也极具效率，资源消耗低，残余应力低。设备可以用各种参数进行编程，如蚀刻时间和光束电流，以便为每个应用产生优化的蚀刻。CANON ILD 4100SR还设有一个氮气外壳，以帮助维持低粒数，一个高真空室，以及一个快门系统，以尽量减少蒙版区域外的蚀刻。它还使用了一种专利气体过滤单元，能够从工艺室中去除O2、N2和CxHx（x为数）分子。这种过滤工艺有助于确保高表面光滑和零件的完美精加工。ANELVA ILD 4100 SR的蚀刻速率可以通过其两频设置进行调制，实现微调蚀刻。机器还可以显示过程的实时图像，允许立即反馈结果。这有助于确保一致、准确的蚀刻和灰化结果。ANELVA ILD-4100SR还具有一系列特殊功能，如高真空泵浦、低残余应力电镀、锌铸造和W模掺杂。这些附加特性旨在提供更大范围的应用，如晶圆上的接触开口的镀层，或石英晶圆上的层的形成。CANON/ANELVA ILD-4100SR是一款具有多种独特功能的高端离子蚀刻器/asher。其技术能力专为精密和高产制造而设计，其额外的特殊功能赋予其更大的灵活性。这些组件共同构成了半导体材料蚀刻的强大工具。