二手 CANON / ANELVA ILD 4100SR #293821838 待售

CANON/ANELVA ILD 4100SR是一款高性能蚀刻器和asher，专为先进的光掩模蚀刻和ashing操作而设计。它是为满足现代制造工艺对先进口罩制造的需求而开发的。CANON ILD-4100SR具有独特的热管理设备和专利技术,使其能够实现高蚀刻和灰化率,同时保留复杂的光掩模图桉的形状和特征。ANELVA ILD-4100 SR是一种高效的蚀刻器/灰化器,可产生干净、可重复和一致的光掩模蚀刻和灰化结果。其独特的热管理系统和专利技术使其能够达到高的蚀刻和灰化率，而不牺牲图样的完整性或对基板的损害。凭借其先进的光掩模图样蚀刻功能,ILD-4100SR能够为高级半导体生产过程创建高性能和高精度光掩模。CANON/ANELVA ILD 4100 SR具有高级自动化功能,如流程监控和数据采集功能,以确保优化所有蚀刻和灰化过程,并在可接受值的大窗口内调整参数。此外,它还具有高级诊断和重新校准功能,使其能够快速诊断问题和错误,并自动重新校准以避免不必要的重做。ILD-4100 SR还采用双腔室设计,可实现高效、均匀的蚀刻和灰化工艺。其先进的蚀刻和灰化工艺控制单元能够调节蚀刻和灰化时间、蚀刻和灰化温度、氧气压力以及蚀刻和灰化流体温度等蚀刻和灰化参数。这使CANON ILD 4100 SR能够在包括金属、塑料、陶瓷和石墨在内的多种材料中执行蚀刻和灰化操作。为确保蚀刻和灰化过程中的最大精度和可重复性,CANON/ANELVA ILD-4100 SR具有高度精确的掩模级,并配备了微米和摄像头坐标系,从而实现了高度精确的支持操作。此外,它还利用从低电压到高电压的各种电源来获得最佳效果。总体而言，CANON ILD-4100 SR是一种有效且可靠的蚀刻器/灰化器，能够在光掩模图样蚀刻和灰化过程中达到最大精度和重复性。ANELVA ILD 4100 SR凭借其先进的热管理机、专利技术、先进的自动化能力、双室设计、精确的掩模阶段，是先进的光掩模制造的理想解决方桉。