二手 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9161261 待售

CANON/ANELVA ILD 4100SR是制造微电子器件的最先进的蚀刻器/asher。它结合了先进的离子束蚀刻和浅各向异性蚀刻技术，使广泛的蚀刻参数。CANON ILD-4100SR设计用于生产统一、干净和精确的蚀刻,可用于各种微电子器件制造过程。ANELVA ILD-4100 SR具有固定的前基底结构设计,可确保最低限度的维护要求。它采用不锈钢制成，外观耐腐蚀，易于清洁。蚀刻室专为蚀刻和灰化工艺而设计，并配有高精度定位系统。该腔室的腔室尺寸为200毫米x 200毫米x 80毫米，可同时支持大气和真空蚀刻条件。ANELVA ILD-4100SR能够蚀刻具有广泛蚀刻参数的材料,如ILD（感应耦合等离子体）、CF4、SF6和CCl2F4。它支持反应性离子束和离子束诱导蚀刻。它能够实现大于1400 nm/min的蚀刻速率,并且能够蚀刻具有不同轮廓的不同形状。CANON ILD-4100 SR非常可靠,具有广泛的过程控制功能。可以预设控制离子束电流、气压、蚀刻时间和衬底的开关时间。它还具有集成的过程诊断功能,有助于确保蚀刻的均匀性和可重复性。CANON/ANELVA ILD 4100 SR还配备了激光对准器，可以远程调节离子束图样的强度，验证蚀刻图样的对准。红外热成像系统可以测量蚀刻表面的温度，并向操作员提供反馈以改进蚀刻结果。ILD-4100 SR具有强大、高度可靠的设计,能够产生精确的微电子器件蚀刻。它易于使用的功能和集成的过程诊断有助于确保可靠和可重复的蚀刻结果。