二手 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9227368 待售

CANON/ANELVA ILD 4100SR是为半导体行业的应用而设计的高性能蚀刻器/asher。该装置利用最新的惰性气体技术对晶圆、MEMS器件和其他基板进行理想的蚀刻或灰化。CANON ILD-4100SR配备了最新的N2O2控制技术，可实现精确、可重复的蚀刻和灰化效果，几乎没有表面损坏。该装置具有与各种氟化物和酸性蚀刻/灰分蚀刻剂以及二氧化硅和硅粉刷用二氧化碳的优良兼容性。该设备具有良好的分辨率和精度,具有可重复的效果和改进的表面光洁度.其集成的外壳允许使用先进的气体输送方法与Smartstream冷却相结合,以获得卓越的均匀性结果。ANELVA ILD-4100 SR还配备了多种工艺控制功能，包括内部压力、流量和温度控制，用于不同晶圆类型的精确蚀刻/灰化。该设备在高频电源上运行,在正常模式下最多可处理60MHz。这样可以精确控制蚀刻/灰化过程。除了高频电源外，该系统还配备了多种先进组件，如微处理器控制的腔室压力控制器和高效电磁放电单元。ILD 4100SR还配备了多种安全功能，包括自锁门、内置灭火机、过温报警和紧急关机工具。此外,该资产还内置了安全通信协议和数据加密,用于安全地向设备发送和接收数据。总体而言,ILD 4100 SR是一种出色的蚀刻/粉碎器设备。它为各种晶片基板和MEMS设备的蚀刻和灰化提供了精确、可重复和安全的工艺。最新的惰性气体技术，加上内置的安全特性，使得模型适合广泛的应用。