二手 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9227371 待售

CANON/ANELVA ILD 4100SR是专门为批量生产而设计的关键尺寸扫描仪。它是一种高度精确可靠的机器,具有独特的红外视觉设备,能够快速准确地测量表面、线宽或凹槽图样,非常适合半导体应用。CANON ILD-4100SR是一种真空蚀刻器/灰化器,允许在对蚀刻速率进行严格控制的情况下将材料去除至预定深度。其精确度是通过控制物料去除率而不是依靠化学蚀刻实现的，化学蚀刻通常用于蚀刻器/灰烬。ANELVA ILD-4100 SR具有两级充电系统，其中第一级为二级电子枪充电，第二级为红外视觉单元充电。这种充电机允许精确设置和控制蚀刻速率。此外，电感耦合等离子体技术（ICP）用于均匀地去除材料，而不会产生任何磨损。CANON ILD 4100 SR也可用于制造用于芯片微处理器、生物传感器和诊断应用的MEMS（微机电系统）组件。在MEMS制造中，该机器能够创造出深度小于1微米的超细通道和空腔。该机还经过设计，可以使用一系列蚀刻材料，包括硅、多晶硅、氧化硅、铝和III-V化合物。在这种蚀刻器/灰烬设计中,非常注重安全和环境保护,具有广泛的安全和排气特性,包括互锁、危险气体中和器和变速排气风扇。CANON ILD-4100 SR在高级蚀刻和特征尺寸缩小应用方面也非常有效。这是通过使用特定参数设置实现的，允许精确控制蚀刻过程和取得的成果。最后，CANON/ANELVA ILD 4100 SR是一种为量产半导体应用而设计的精密蚀刻/灰烬工具。它的灵活性和适应性使得它适用于广泛的工艺，以及微机电系统的制造和先进的蚀刻和减小尺寸的应用。其强大的安全性和环境特性使其非常适合在受控环境和危险环境中使用。