二手 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9238858 待售

CANON/ANELVA ILD 4100SR是一种用于高精度表面处理的ICP蚀刻机。它是一种多功能设备，可以同时执行光刻和蚀刻过程，使其成为医疗、芯片制造和光学元件工业的通用工具。机器使用CF4、CHF3和SF6的电离气体组合进行蚀刻。这些气体通过金属针头与从ICP电源获得的等离子体一起释放。然后在样品上扫描针头，以便均匀地蚀刻所需的图桉或表面。佳能ILD-4100SR的蚀刻面积最大可达400毫米乘400毫米，蚀刻深度可达10 μ米，高精度和重复精度可达0.5 μ米。其紧凑的设计可以方便地安装和集成到现有系统中，而且加工时间也更短，从而提高了生产率，减少了材料的浪费。该设备采用高分辨率查看设备,用户可以实时监控蚀刻过程。它还具有高精度的自动调平系统，确保在操作过程中正确调整和对齐蚀刻针。ANELVA ILD-4100 SR配备了高安全特性，如电弧检测、冷却水质管理、氮膜和火花探测器，都有助于安全的工作环境。设备还配置为允许远程操作以及手动控制,以实现最大程度的控制和灵活性。机器不断监控准确可靠的结果，可以与其他CANON设备集成，以提高效率。总体而言,ILD-4100SR是一种可靠可靠的精密加工蚀刻解决方桉.其广泛的特点和选择使其适合各种应用和行业，其高安全标准保证了受保护的工作环境。该蚀刻机易于安装操作，提供高精度和可重复性，性能优越。