二手 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9374944 待售

CANON/ANELVA ILD 4100SR是为各种类型的物理蚀刻和灰化工艺应用而设计的蚀刻/灰化设备。它是一种使用感应耦合等离子体（ICP）源诱导等离子体的高性能蚀刻/灰化系统。该等离子体随后被用于各种类型和大小的晶片的蚀刻和灰化。佳能ILD-4100SR能够处理多达8 x 8英寸的晶圆。ANELVA ILD-4100 SR是一个具有多级气体控制结构的单元，用于晶片的精确蚀刻和灰化。本机采用三区气体控制装置，利用气体控制区保证了稳定的蚀刻和灰化效果。气体控制单元还有助于减少蚀刻/灰化室内微粒的产生。CANON/ANELVA ILD-4100 SR利用光学致动飞溅防护工具（OAP）通过降低火花与其他组件相互作用的风险来保护基板和组件。此资产有助于确保沉积和蚀刻发生在最佳环境中,并且任何关键区域或敏感组件都不会损坏。ILD-4100 SR模型还具有用于超精确参数跟踪的闭环实验。这使得用户即使在实际的过程运行过程中也能快速准确地试验过程控制参数，让用户充分利用他们的蚀刻和ashing过程结果。CANON ILD 4100 SR是一个独立的设备，具有自动化的装卸系统，以帮助简化蚀刻和灰化过程。此自动化单元有助于减少处理和设置时间,并有助于确保晶圆在最佳条件下被蚀刻和灰化。总体而言，ILD 4100 SR是一款高性能的蚀刻器/asher机，专为各种类型的物理蚀刻和灰化工艺应用而设计。该工具具有ICP源、3区气体控制单元、光学致动防溅资产（Optically Intacted Splash Protection Asset, OAP）、闭环实验功能以及自动装卸模型,可优化蚀刻和灰化工艺结果。