二手 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9374945 待售

CANON/ANELVA ILD 4100SR是一种最先进的蚀刻器/asher,专为薄膜基板的定向蚀刻和灰化而设计。它是一种既能干湿蚀刻又能灰化的综合机器。它具有比同类机器更高的加工速度，可以对敏感基板进行高效、彻底的蚀刻和粉刷。CANON ILD-4100SR适用于干式和湿式蚀刻以及任何可加工基板的灰化。它能够蚀刻和灰化各种金属层，如铝，镍和铜具有均匀性和最大效率。它具有水平和垂直的运动控制，可以在短时间内对高基板进行精确、快速的蚀刻和粉刷。ANELVA ILD-4100 SR配备废气洗涤器，防止危险化学品在蚀刻和灰化过程中被释放。此功能可确保快速、安全地完成蚀刻和灰化过程。此外，佳能/ANELVA ILD-4100SR还配备了CCD相机，用于在蚀刻和灰化过程中对基板表面进行精确成像。ILD-4100 SR还具有数字压力传感器,可监控工艺气氛和基板温度,以帮助优化蚀刻和灰化结果。这样可以为每个独特的工艺精确设置精确的蚀刻和灰化参数,从而确保最大程度的工艺输出。CANON ILD 4100SR是一种可靠、精确的蚀刻器/灰化器，适用于不同的工艺和基板。对于任何需要先进基材蚀刻和灰化系统的人来说，这是一个极好的选择，可以帮助提高工艺产量和降低运营成本。