二手 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9398262 待售

CANON/ANELVA ILD 4100SR蚀刻器是一种先进的离子蚀刻装置，用于精确生产高性能半导体元件。该设备设计用于直接离子注入，以实现硅、铝等基材材料的高度精密蚀刻。佳能ILD-4100SR具有高精度泵送系统、双源离子源、三级晶片载体系统和计算机控制等离子面板的大型真空室。适用于平面和非平面几何形状的蚀刻，其特征尺寸低至0.1µm，深度为0.2 µm。ANELVA ILD-4100 SR配有独立控制的机器人手臂和耐热喷嘴，以确保一致和均匀的蚀刻。机器人手臂确保精确和可重复的运动，而喷嘴由高温材料制成，以防止高温过程中的损伤。喷嘴具有可调的引导焦点，防止在蚀刻过程中离子束和基板表面重迭。这有助于以最小的晶圆损坏和一致的蚀刻特性产生高质量的结果。ANELVA ILD-4100SR还具有高速光束快门,用于控制蚀刻的长度。这样可以确保更短的周期时间而不牺牲质量或性能。此外，可以调整蚀刻室内的屏蔽板，以帮助消除二次离子在蚀刻过程中进入工作区域。这样可以防止形成不需要的残留物，从而阻碍所需的蚀刻特性。ILD-4100 SR还具有高级流程监控功能,如参数保护模式、极低电流监控和反馈回路控制器。这样可以确保最高的蚀刻精度和可重复性。再者，CANON ILD 4100 SR配备了超低噪声室，以减少电磁干扰，提供安全的操作环境。总体而言,ILD-4100SR是一个高级蚀刻器/asher,提供卓越的性能和准确性。机械臂、可调喷嘴和参数保护模式的组合有助于提供一致的蚀刻结果，同时减少循环时间。此外,此系统还提供高级过程监控,以确保最高的蚀刻精度和可重复性。