二手 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9412378 待售

CANON / ANELVA ILD 4100SR
ID: 9412378
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Oxide dry etcher, 8" 1996 vintage.
CANON/ANELVA ILD 4100SR是一种最先进的蚀刻器/asher,能够对表面进行高精度的微结构。这种先进的设备设计,以实现卓越的重复性和均匀性,同时产生优越的质量蚀刻模式。CANON ILD-4100SR利用等离子体DLC(金刚石状碳)蚀刻工艺,创造出极平坦的表面,具有极好的边缘清晰度和较低的表面粗糙度。它是一个全自动设备,对蚀刻参数提供出色的控制,以确保一致的结果。ANELVA ILD-4100 SR主要用于微机加工,特别适合于需要高吞吐量和精确度的生产过程。这台机器可以配置一个标准的激光头,能够创建具有出色边缘质量的微观结构,并具有像素级分辨率、高选择性和高精度形状控制等特点。其它激光头可用于根据特定的应用来定制机器,例如深度蚀刻和复杂的几何形状。CANON ILD 4100 SR采用了获得专利的电磁制动系统,对蚀刻过程提供精确的控制,确保了可重复的性能。该单元还配备了集成视觉机,用于反馈控制蚀刻内脏。凭借其先进的低压室和热电偶反馈回路,ILD 4100 SR能够在蚀刻过程中保持极其稳定的状态,产生极好的均匀性和可重复性。此外,该工具还提供先进的安全系统,如真空和氧气传感器,用于检测任何潜在危险,并在检测到危险情况时自动关闭。ILD-4100SR还包括一个带有宏编程的设备控制界面和一个触摸屏显示屏,可以轻松控制和监控蚀刻过程。CANON ILD 4100SR是需要高精度微结构且具有极好的重复性和均匀性的生产工艺的理想选择。凭借其精密的控制和先进的安全功能,它是精确应用程序的理想选择,可提供一致和可靠的结果。
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