二手 CANON ANELVA ILD-4100W #9158758 待售

CANON ANELVA ILD-4100W是一种高精度晶圆蚀刻器/asher，设计用于执行高级蚀刻和灰化工艺。此过程可精确控制蚀刻结果的层厚度和特征大小。ILD-4100W采用先进的ICP（感应耦合等离子体）技术来精确控制各种底物的反应参数。该系统具有坚固耐用的结构和独特的易于操作的设计,可确保高速运行和易于维护。该设备由ICP源、电极和晶圆支撑组成。ICP源通过射频信号为等离子体供电。这样就产生了强烈的等离子体放电，有利于蚀刻具有亚微米特征尺寸的晶片。ICP源还提供多种功率级别,可以轻松调整以微调蚀刻属性。电极用作施加射频电压的主电极。它生成原始蚀刻路径到正在处理的基板上。最后，晶片支撑将基板固定在系统中，同时进行蚀刻过程。Anelva CANON ANELVA ILD-4100W还提供了对蚀刻速度和一致性以及蚀刻选择性的精确控制。这使得它非常适合各种苛刻的应用,如MEMS制造、半导体生产、PCB加工以及精密晶圆制造。该装置能够处理单晶片和多晶片基板，并且能够适应铝、硅、陶瓷、金属等多种材料。再者，ILD-4100W可以配置多种附加组件，如气箱、真空箱、气体传感器、单晶圆传递室、双工室、气体过滤器等等。这些附加组件允许用户进一步定制流程以满足其需求和要求。此外,系统还具有直观的LCD屏幕,便于操作和监控。CANON ANELVA ILD-4100W对于那些在工业和学术应用中需要精确、可靠的蚀刻器/asher的用户来说是一个极好的选择。其先进的技术特点确保了单晶片或多晶片操作的高性能结果。这使得它成为许多需要高精度蚀刻和灰化工艺的行业和学术应用的理想选择。