二手 CANON MAS 8220 #9157615 待售

佳能MAS 8220是一种串联轴电化学蚀刻/灰化设备，能够同时处理多达30个晶圆。适用于多种蚀刻和灰化工艺。该系统采用两阶段蚀刻工艺，包括预蚀刻和后蚀刻（分别），旨在确保高长宽比结构的精密蚀刻。预蚀刻经过量身定制,能够创建深而精确的高纵横比结构。包含一个直观的软件控制单元,用于操作和监视蚀刻和灰化过程。CANON MAS-8220采用双高性能、独立蚀刻和灰化容器,每个容器都有自己的专用电源。电源分布：直流电、交流电和脉冲直流电,分别控制在每个容器上。这样可以精确控制每个容器的功率，保持稳定的蚀刻速率和适当的蚀刻速率转变。蚀刻参数是可定制的，包括蚀刻变量，如工艺时间和温度，以及蚀刻试剂、浓度和额外的催化剂试剂。MAS 8220有一个创新的过滤机器，它使用高精度过滤器，以确保试剂从任何微粒。过滤工具还用于回收试剂并延长试剂的使用寿命。此外，该资产还具有内置的化学冷却和加热模型，有助于在蚀刻过程中保持温度平衡，控制过程温度。MAS-8220包括多达99种可编程的过程模式,从而实现最大程度的过程灵活性和量身定制的过程控制。该设备的设计还使其能够用于湿式长凳或烟雾罩中，从而实现用户的最佳安全。该系统还提供了广泛的流程控制选项，从简单的手动设置到全自动流程序列。此外,还可以对设备的软件进行编程以监视和维护所需的蚀刻参数。CANON MAS 8220使实验室和生产设施能够实现一系列应用的高精度和准确性,这些应用包括：半导体器件光刻、薄膜器件加工、MEMS器件制造、生物化学应用等。机器的直观操作和精密蚀刻能力使其成为要求苛刻的工业和实验室环境中高级用户的理想选择。