二手 CHEMCUT 610 #149017 待售

CHEMCUT 610是一款高效的中型化学机械平面化（CMP）设备，用于电子和半导体行业。该系统专门设计用于电介质的蚀刻和粉刷，包括二氧化硅、氮化硅和低k电介质。它具有高达330mm的广域大小和每小时12个晶圆的吞吐量。610的设计更容易实现高精度和重复性的良好平面化。它具有先进的特点，包括压力平衡框架，确保整个区域的蚀刻深度一致；以及提供卓越CMP清洁的同步高压冲洗装置。CHEMCUT 610还有一个闭环控制机器和软件套件，保证了过程的准确性，使客户能够以最高的可重复性和准确性蚀刻临界层的电介质。610具有用户友好的操作和维护功能,可减少停机时间并提高工作效率。它具有直观的图形用户界面,以及自动校准过程,能够对电介质的蚀刻和灰度进行精确的过程优化。它还配备了两级DI/DI级联过滤，以确保清洁工艺液体和防止污染。此外,CHEMCUT 610具有坚固可靠的设计,可确保长时间有效且无故障的操作。它旨在处理各种具有化学侵略性或危险性的化学品，包括氟基蚀刻和干性蚀刻气体。这使客户能够以最大的信心创建高度复杂和复杂的结构。总体而言,610是一种极好的产品,它以最低的成本提供卓越的电介质蚀刻和灰化。它使用简单,但提供高级功能,使其成为要求苛刻的蚀刻和灰化要求的半导体和电子公司的理想选择。